沈天慧

沈天慧(1923--2011)  留学苏联。女，浙江杭州人。

1949年上海大同大学化工系毕业，中国科学院化学研究所、应用化学研究所从事分析化学研究。

1957年留学苏联科学院冶金研究所从事半导体材料的研究。

1959年回国。曾任中国科学院化学研究所副研究员，陕西临潼航天部771所研究员、副所长，中国科协科技委员会委员和研究发展部副主任、副总工程师，上海交通大学研究中心研究员，航天部骊山微电子公司科技委员会副主任、研究员。

1980年当选为中国科学院化学部委员。兼中国宇航学会理事。长期从事分析化学和半导体化学的研究，直接参加了硫酸根的测定、包头含稀土铁矿的全分析、铜矿的全分析、纯硅的制取、纯硅中杂质的分析等科学研究。还采用无坩埚溶法拉出了单晶硅。1960年代中期至1970年代中期，开展了磁选片存贮器、玻璃半导体记忆材料等的研究，达到当时国内先进水平。此后，参加了MOS大规模集成电路研究，特别是薄氧化层的研究，为超大规模集成电路的工艺研究奠定了基础。

发表论文20余篇，主要有《用三氯氢硅法制备半导体纯硅》等。